给予适度光反馈自混合干涉技术的微位移测量

给出了原理及方法，很实用 目前, 光反馈自混合干涉(OFSMI) 技术用于位移 测量方面的方法主要有条纹计数法[6]、相位测量法[7]、 拍频测量法[8]等。条纹记数法量程大, 信号处理简单, 易于实现, 但分辨率限于半个光波波长。