含预反馈的激光自混合干涉型位移测量结构

上传：dss36619 浏览： 12 推荐： 0 文件：PDF 大小：216.31KB 上传时间：2021-02-22 06:59:38 版权申诉

提出了含预反馈的激光自混合干涉型位移测量结构,建立了系统模型,经理论分析和实验验证,结果表明:该结构具有提高温度量程、提高测量信号信噪比及获得粗糙表面的锯齿干涉信号等特点.