差动型激光自混合干涉式位移测量系统

提出了一种利用激光自混合干涉效应的差动式位移测量系统, 建立了系统的数学模型, 经仿真分析及实验验证表明: 和单激光管结构相比, 该系统位移分辨力提高了二倍, 达1/4光波波长, 且能大大减小光反馈强度引起的噪声及温度干扰。