论文研究纳米图形衬底GaAs/Si材料的热应力分布 .pdf

上传：weixin_39882200 浏览： 25 推荐： 0 文件：PDF 大小：512.71KB 上传时间：2019-09-08 16:06:42 版权申诉

纳米图形衬底GaAs/Si材料的热应力分布，张然，王俊，直接外延制备的GaAs/Si材料由于不同材料热膨胀系数不同会产生热应力。前人利用光致发光谱和拉曼光谱研究发现，使用图形衬底可减小Ga