首页 下载 编程语言 其他 下载详情 光热退火的光量子效应对富硅氮化硅薄膜特性的影响 上传:jalena 浏览: 33 推荐: 0 文件:PDF 大小:784.72KB 上传时间:2020-05-14 06:14:42 版权申诉 光热退火的光量子效应对富硅氮化硅薄膜特性的影响,陈小波,杨培志,采用双极脉冲和射频磁控共溅射沉积法,在单晶硅衬底和石英衬底上制备富硅SiNx薄膜.为了比较,在氮气氛围中,于950-1100℃温度下分别� 立即下载 上传资源 微信扫一扫 用户评论 提交评论