首页 下载 行业 制造 下载详情 PECVD法氮化硅薄膜生长工艺的研究 上传:wave17482 浏览: 56 推荐: 0 文件:PDF 大小:687.46KB 上传时间:2019-01-21 12:12:44 版权申诉 PECVD法氮化硅薄膜生长工艺的研究讲述了不同工艺参数对SiN薄膜的影响 立即下载 上传资源 微信扫一扫 用户评论 提交评论