DBD HWCVD沉积硅薄膜的研究

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DBD-HWCVD沉积硅薄膜的研究，张春丽，刘艳红，介质阻挡放电（DBD）等离子体增强热丝化学气相(HWCVD)沉积技术延承了PE-HWCVD技术沉积速率高的特点，同时降低了其中高能离子对薄膜的损