首页 下载 移动开发 其他 下载详情 PECVD沉积参数对硅薄膜生长速率的影响 上传:洁vs有 浏览: 12 推荐: 0 文件:PDF 大小:432.55KB 上传时间:2020-07-22 08:43:21 版权申诉 PECVD沉积参数对硅薄膜生长速率的影响,王志辉,强颖怀,高效、稳定、廉价的多晶硅薄膜太阳电池有可能替代非晶硅薄膜太阳电池成为新一代无污染民用太阳能电池。传统等离子体化学汽相沉积 立即下载 上传资源 微信扫一扫 用户评论 提交评论