脉冲宽度对高功率脉冲磁控溅射制备纯钛薄膜影响的研究

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脉冲宽度对高功率脉冲磁控溅射制备纯钛薄膜影响的研究，景凤娟，尹太磊，高功率辉光放电的表面改性方法是一项很有希望应用在工业上的物理气相沉积技术。高功率辉光放电峰值能量和金属离子的密度较高。本