利用硅浆料的硅片掺杂

上传：sinat_48217 浏览： 19 推荐： 0 文件：PDF 大小：341.11KB 上传时间：2020-07-25 23:10:44 版权申诉

利用硅浆料的硅片掺杂，高煜，皮孝东，本文介绍了一种基于硅浆料的硅片掺杂方法。用冷等离子体法制备出掺杂（硼或磷）的纳米硅颗粒，随后将其分散在有机溶剂中形成硅浆

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