电子束蒸发TIO2薄膜的光学特性

上传：squll_lj 浏览： 22 推荐： 0 文件：PDF 大小：379.95KB 上传时间：2020-08-09 20:05:52 版权申诉

研究了不同工艺参数条件下, 电子束蒸发TIO2薄膜的光学特性.在正交实验的基础上,利用离子束辅助沉积技术, 获得了影响TIO2薄膜折射率的主要因素, 得到了TIO2薄膜的折射率随氧气分压的关系.