光栅刻划机阿贝误差对光栅衍射波前质量的影响及其校正方法
衍射波前质量是衡量刻划光栅性能的重要指标之一, 光栅刻划机若存在阿贝误差, 将直接影响刻线位置精度, 从而影响光栅的波前质量。建立了刻划机阿贝误差与光栅衍射波前质量的物理模型, 并分析了该误差对波前质量的影响。针对该误差设计了一种基于双频激光干涉测量的阿贝误差测量光路, 测量了刻划机的阿贝误差, 根据物理模型对其导致的光栅衍射波前误差作了仿真分析, 并提出了基于双层工作台结构的误差控制校正方法。对两块尺寸为80 mm×100 mm、刻线密度为79 groove/mm的中阶梯光栅进行了阿贝误差校正前后的对比刻划实验。结果表明, 通过对阿贝误差的测量和校正, 光栅闪耀级次为-36级的衍射波前误差由
用户评论
相关推荐
光栅刻划机衍射波前质量的主动控制校正方法
衍射波前质量是刻划光栅的重要性能指标之一,对于机械刻划光栅,刻划机的刻线定位精度直接影响光栅的波前质量。建立了刻划机固有存在的刻线位置和转角误差与光栅衍射波前误差间的数学关系,分析了各误差对衍射波前质
PDF
3.32MB
2021-02-08 10:54
衍射光栅刻划机
本文介绍了长春光学精密机械研究所研制成功的四台衍射光栅刻划机。该机自1958年开始设计。1号、2号光栅刻划机为机械型,分别于1959年、1965年安装调试完毕。3号、4号光栅刻划机为光电干涉控制型,分
PDF
6.16MB
2021-04-07 06:35
激光刻划机刻出迄今最大的衍射光栅
刻划机在镀铝反射镜上刻出120,000呎的槽长大约须费时1周多。而凹槽的陡峭的边在整个加工过程中须维持不变的斜率。
PDF
1.2MB
2021-02-08 10:54
衍射误差对相位校正效果的影响
自适应光学系统的光路通常包含很多光学器件,而各光学器件存在加工误差、装调误差和非均匀热变形等,这些因素会对光束质量产生影响,因此系统内光路相位畸变的校正对获得好的光束质量至关重要。然而系统光路较长时,
PDF
1.94MB
2021-04-23 10:14
体布拉格光栅色散对衍射光束质量的影响
基于衍射理论,建立了光束经过体布拉格光栅衍射的光束质量分析模型。在考虑入射光束参数和体布拉格光栅参数的情况下,分析任意光束经过体布拉格光栅衍射的光场分布,计算得到二阶矩意义下的束腰和光束质量M2因子,
PDF
3.88MB
2021-02-08 04:41
光栅的测量现象光栅衍射
光通过光栅衍射后形成的电子图片,通过物理验证光传播的波动现象
BMP
2.25MB
2020-09-18 18:42
矩形衍射光栅的结构参数偏差对衍射场分布的影响
矩形衍射光栅的结构参数偏差对衍射场分布的影响，敬嘉雷，陆振刚，矩形衍射光栅的结构参数决定其衍射场分布，而实际光栅结构参数的加工误差将导致光栅的衍射场分布偏离预期。为了给矩形光栅结构参
PDF
549KB
2020-07-30 16:01
光栅衍射实验
各大学通用的大学物理实验指导及报告撰写规范，实验步骤数据和实验方法原理介绍。
DOC
59KB
2020-07-24 03:59
光栅衍射原理
电子常识光栅衍射原理光栅光栅:光栅是结合数码科技与传统印刷的技术,能在特制的胶片上显现不同的特殊效果。在平面上展示栩栩如生的立体世界,电影般的流畅动画片段,匪夷所思的幻变效果。光栅是一张由条状透镜组成
doc
243.50 KB
2022-12-01 21:33
表面起伏对体积相位全息光栅衍射效率的影响
从理论上分析了重铬酸盐明胶经过全息曝光制作而成的体积相位全息光栅产生表面起伏时光栅介质层介电常数的变化,严格分析了体积相位全息光栅有表面起伏时所形成的既有折射率调制,又有浮雕调制的复合型光栅的衍射特性
PDF
835KB
2021-04-19 12:22
基于波前法的光栅拼接误差检测及计算方法
光栅拼接法是目前制作大尺寸平面衍射光栅的重要方法之一,而拼接误差是评价拼接光栅是否能够使用的重要指标之一。实时定量测量拼接误差,能够实现对拼接误差的自动闭环调整,通过实时指导拼接提高光栅拼接的精度。建
PDF
5.53MB
2021-04-07 04:47
全息曝光系统轴向调节误差对光栅衍射波像差的影响
光栅衍射波像差作为全息光栅重要的技术指标之一,直接影响光栅分辨率,其中曝光光学系统的调节误差是引起光栅衍射波像差的主要因素。采用q参数讨论了高斯光束在光栅曝光光学系统中的传播和变换,通过计算高斯光束经
PDF
3.99MB
2021-02-09 11:49
位相光栅的衍射级次
用矢量衍射理论讨论了位相光栅衍射级次的有限性及其与入射角的关系,得出的结论与用光程方法得出的结果一致,作出了在不同入射角条件下各衍射级次的分布图,给出了求解各级衍射波方向的公式。明确指出,当在空气层中
PDF
1.07MB
2021-02-23 19:03
光栅衍射计算程序
用于计算入射光经光栅衍射后，各级衍射光的出射光情况。
M
0B
2019-09-09 07:12
光栅衍射matlab仿真
光栅衍射matlab仿真,工程光学,含计算与绘图的核心代码,注释丰富,亲测可用,matlab,本人用于工程学学作业
M
595B
2020-11-26 10:19