多台阶相幅型菲涅耳波带片的矢量衍射

用矢量Rayleigh-Sommerfeld(VRS)衍射理论分析计算了高数值孔径多台阶相幅型菲涅耳波带片(M-SHFZP)的聚焦场分布。当线性偏振光垂直入射到M-SHFZP,结果显示: 1) 由于薄膜透射率随着刻蚀台阶深度发生变化,致使实际的M-SHFZP 的聚焦强度小于多台阶纯相位型菲涅耳波带片(M-SPFZP)的聚焦强度,但是M-SHFZP 的聚焦光斑大小基本上与M-SPFZP 的相同;2) 聚焦光的强度随着台阶数的增加而增加,但聚焦光斑的大小不随台阶数变化;3) 对于低数值孔径的M-SHFZP,光轴上的强度呈现一个多焦点分布,但是对于高数值孔径的M-SHFZP,高级焦点的强度被大大抑制