菲涅耳波带片的轴向和横向焦点尺寸研究

对于用线性偏振光束照射的标准二元菲涅耳波带片(FZP),给出了一个无斑点的大小公式。 轴向光斑的大小可以用半峰全宽(FWH M)来表征,可以用Jia ng-Wilso n公式准确地表示,即dz0.9λ0∕η-η2-NA21 ∕ 2,当透明环的数量不小于3时。λ0是照明光波长,η是折射率,NA是FZP的等效数值Kong径。 当相应的数值Kong径不是很大时,横向光斑的大小与最外环的径向宽度几乎成线性关系。 这项研究是基于矢量角谱理论进行的,并已通过三维有限差分时域方法得到了严格的证实。 这一发现为在各种应用中应用FZP提供了理论基础,例如纳米光刻,纳米技术和高密度数据存储。