首页 下载 数据库 其它 下载详情 用磁控溅射技术制备氮化铝薄膜 上传:xuejie90477 浏览: 15 推荐: 0 文件:PDF 大小:921.27KB 上传时间:2021-03-02 01:13:36 版权申诉 报道了用磁控溅射制备氮化铝薄膜的工艺过程和实验结果.给出了氮化铝薄膜的光学常数与氩气、氮气压强之间的关系.结果表明,氮化铝薄膜的光学性质,很大程度上取决于氮气和氩气之间的压强比. 立即下载 上传资源 微信扫一扫 用户评论 提交评论