论文研究溅射功率对Ca2Si薄膜性质的影响 .pdf

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溅射功率对Ca2Si薄膜性质的影响，任雪勇，谢泉，采用射频磁控溅射技术在Si（100）衬底上沉积了Si-Ca-Si薄膜，并在高真空条件下对样品进行退火处理，直接生成立方相Ca2Si薄膜。研究了不