论文研究氢气氛围下退火对氧化镓薄膜性质的影响 .pdf

上传：Xieminsen 浏览： 24 推荐： 0 文件：PDF 大小：476.25KB 上传时间：2020-05-15 18:31:40 版权申诉

氢气氛围下退火对氧化镓薄膜性质的影响，牛成军，夏晓川，采用MOCVD制备了ε-Ga2O3薄膜样品，利用X射线衍射仪（XRD）、扫描电子显微镜（SEM）、紫外可见分光光度计和半导体特性分析仪等表征手段�