论文研究Zn源流量对MOCVD方法生长氧化镓薄膜特性的影响 .pdf

上传：wsrwsrriri 浏览： 26 推荐： 0 文件：PDF 大小：979.69KB 上传时间：2020-02-29 12:01:45 版权申诉

Zn源流量对MOCVD方法生长氧化镓薄膜特性的影响，徐梦想，夏晓川，本文利用金属有机物化学气相沉积方法,以三乙基镓为镓源，二乙基锌作为掺杂锌源，高纯氧气作为氧源，高纯氩气作为载气，在锌源流��