首页 下载 编程语言 其他 下载详情 论文研究GaN基板氧化对MOCVD法生长氧化镓薄膜结晶特性的影响 .pdf 上传:houguof 浏览: 25 推荐: 0 文件:PDF 大小:735.68KB 上传时间:2020-04-26 02:09:14 版权申诉 GaN基板氧化对MOCVD法生长氧化镓薄膜结晶特性的影响,庄睿,夏晓川,通过选择不同温度采用热氧化方式,在GaN基板上预先形成氧化镓薄层,而后以高纯氧气和三乙基镓为反应源,利用低压金属有机化合物气 立即下载 上传资源 微信扫一扫 用户评论 提交评论