AlN/Si(111)复合衬底上4HSiC薄膜的阴极荧光特性

上传：sinat_48217 浏览： 16 推荐： 0 文件：PDF 大小：308.65KB 上传时间：2020-05-10 23:45:56 版权申诉

AlN/Si(111)复合衬底上4H-SiC薄膜的阴极荧光特性，吴军，韩平，本工作利用化学气相淀积（CVD）方法在AlN/Si(111)复合衬底上成功异质外延生长了4H-SiC薄膜；用X射线衍射（XRD）、拉曼散射（Raman）、阴极�