衬底温度对脉冲激光沉积在Si衬底上的ZnCoO薄膜的影响

衬底温度对脉冲激光沉积类金刚石薄膜的影响

在脉冲激光沉积法制备类金刚石薄膜的实验中,保持其他实验参数不变,衬底温度分别取30,200,400和600 °C来沉积类金刚石薄膜。用拉曼光谱仪和X射线光电子能谱仪对不同衬底温度下沉积的类金刚石薄膜的

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2021-02-17 19:55

AlN缓冲层厚度对脉冲激光沉积在c蓝宝石衬底上生长的ZnO薄膜性能的影响

AlN缓冲层厚度对脉冲激光沉积在c蓝宝石衬底上生长的ZnO薄膜性能的影响

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2021-04-08 16:24

脉冲激光沉积法制备PZT铁电薄膜及衬底温度对膜的影响

采用脉冲激光沉积法在Si(100)衬底上制备了Pb(Zr0.52Ti0.48)O3铁电薄膜,并用X射线衍射(XRD),扫描电镜(SEM)对其结构、形貌以及结构随沉积时衬底温度的变化进行了研究.由脉冲激

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2021-04-06 00:14

碳预硅化在NiSi衬底上注入Si衬底的影响

在这项工作中,研究了碳预硅化在NiSi上注入到Si(1 0 0)衬底中的影响。 通过薄层电阻测量,X射线衍射,扫描电子显微镜(SEM),平面透射电子显微镜(TEM)和第二离子质谱(SIMS)对具有不同

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2021-05-08 08:59

Si衬底上生长的GaAs薄膜中深中心发光的温度效应

测量了Si衬底上生长的GaAs薄膜中与深中心有关的发光带的变温光谱,研究了0.78 eV、0.84 eV和0.93 eV发光带的峰值位置和发光强度随着温度的变化关系,发现它们的发光强度随温度的变化服从

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2021-04-05 11:56

论文研究衬底对玻璃和硅衬底上沉积的CuS PVA纳米复合薄膜的影响

通过化学路线沉积的过渡金属硫族化物纳米复合薄膜目前吸引了广泛的关注，其廉价，简单并且可用于大面积应用。由于应变引起的性质改变和晶格失配，基底的作用在膜沉积以及控制其性质中变得非常重要。使用溶胶-凝胶技

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2020-06-14 20:13

衬底温度对SnO

采用固相反应法制备了四方相结构的SnO2靶材,选用蓝宝石衬底,利用脉冲激光沉积法在不同温度下生长了一系列SnO2薄膜。X射线衍射测试结果表明,SnO2薄膜具有四方金红石结构,并且沿a轴近外延生长。另外

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2021-02-09 15:47

衬底温度对反应溅射ZnO Al导电薄膜性能的影响

摘要:衬底温度在反应溅射制备ZnO:Al薄膜过程中是一个重要的工艺参数,直接决定这薄膜的性能。本文用中频脉冲磁控溅射方法,采用锌铝合金(Al的含量为2%)靶,在衬底温度170°C,工作压力2.5mTo

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2021-02-23 19:12

激光脉冲频率对纳米Si晶薄膜形貌的影响

在气压为10 Pa的惰性气体Ar环境下,采用XeCl准分子激光器(波长308 nm),调整激光单脉冲能量密度为4 J/cm2,激光烧蚀电阻率为3000 Ω·cm的高纯单晶Si靶,在玻璃或Si衬底上沉积

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2021-04-02 07:43

衬底温度对ZnO薄膜晶体结构和迁移率的影响

衬底温度是影响ZnO薄膜特性的重要因素,可以在很大程度上改变薄膜的结晶结构,温度高低直接影响衬底表面吸附原子的表面迁移率,再蒸发和结晶情况.在室温下测量了不同温度生长的ZnO薄膜的X射线衍射(XRD)

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2021-03-01 16:58

AlN插入层对硅衬底GaN薄膜生长的影响

利用金属有机化合物气相外延沉积技术在2 inch (5.08 cm) Si(111)图形衬底上生长了GaN外延薄膜,在Al组分渐变AlGaN缓冲层与GaN成核层之间引入了AlN插入层,研究了AlN插入

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2021-02-10 03:50

衬底温度对非极性ZnO薄膜结晶性能和发光特性的影响

采用金属有机化学汽相沉积(MOCVD)设备在LiGaO2(100)衬底上制备了结晶性能良好的非极性ZnO薄膜。研究了衬底温度对ZnO薄膜结晶性能的影响。X射线衍射(XRD)分析结果表明在衬底温度为50

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2021-04-04 10:16

改进的SmCo基薄膜在热Si衬底上沉积的磁性能

通过磁控溅射Craft.io将具有不同底层的SmCo基薄膜沉积在650 1C的Si衬底上。 研究了不同底层对晶体结构和磁性能的影响。 结果表明,Al,Cu和Ag底层不能对晶体结构和磁性能产生正贡献。

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2021-03-17 04:08

基础电子中的衬底温度对反应溅射ZnO Al导电薄膜性能的影响

摘要:衬底温度在反应溅射制备ZnO:Al薄膜过程中是一个重要的工艺参数,直接决定这薄膜的性能。本文用中频脉冲磁控溅射方法,采用锌铝合金(Al的含量为2%)靶,在衬底温度170°C,工作压力2.5mTo

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2020-10-28 06:05

基片温度对脉冲激光沉积ZnO薄膜性质的影响

本文基于脉冲激光沉积(PLD)方法, 利用光谱物理GCR-170型脉冲激光器Nd∶YAG的三次谐波, 实验上完成了在Al2O3(0001)基片上生长了ZnO薄膜。利用原子力显微镜(AFM)、光致发光(

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2021-02-25 21:16