论文研究等离子体辅助电子束蒸发沉积TiN薄膜 .pdf

上传：宛陵秋浏览： 22 推荐： 0 文件：PDF 大小：415.64KB 上传时间：2020-05-18 15:06:41 版权申诉

等离子体辅助电子束蒸发沉积TiN薄膜，张茂平，陈俊芳，利用朗缪尔静电双探针诊断了电子束蒸发镀膜装置反应室等离子体密度，分析了其分布规律，讨论了气压和射频功率对其的影响，获��