扩散引起的外延层衬底界面的杂质再分布

上传：和谐世界浏览： 18 推荐： 0 文件：PDF 大小：40.88KB 上传时间：2020-12-13 06:48:58 版权申诉

课程内容: 1 外延层-衬底界面的杂质再分布 1.1 界面的杂质再分布的条件 1.1.1 界面两侧存在杂质的浓度梯度 1.1.2 存在高温处理环境 1.2 界面杂质再分布的结果 1.2.1 同型外延结构 1.2.2 异型外延结构 2 常规器件结构中外延层-衬底界面的杂质分布 2.1 N /N (P /P )结构中外延层-衬底杂质分布 2