首页 下载 行业 制造 下载详情 氮(氧)化硅湿法刻蚀后清洗方式的改进 上传:autonomy_95786 浏览: 8 推荐: 0 文件:DOCX 大小:213.19KB 上传时间:2020-12-22 13:10:59 版权申诉 摘要:在半导体制造工艺的湿法刻蚀中,用热磷酸刻蚀氮化硅和氮氧化硅是其中一个相对复杂又难以控制的工艺。在这个工艺中,热磷酸刻蚀后的去离子水(DIW)清洗更是一个非常重要的步骤。主要分析了由于去离子水清洗不当造成的表面缺陷的形成机理,并通过合理的实验设计和分析,给出了具体的解决方案。 立即下载 上传资源 微信扫一扫 用户评论 提交评论