论文研究SiC衬底上SiCGe外延薄膜的结构分析 .pdf

上传：宛陵秋浏览： 27 推荐： 0 文件：PDF 大小：736.29KB 上传时间：2019-09-09 10:35:57 版权申诉

SiC衬底上SiCGe外延薄膜的结构分析，陈治明，李连碧，用SEM和TEM对热壁化学气相沉积法(HWCVD)在SiC衬底上外延生长的SiCGe薄膜进行了结构分析，发现薄膜生长具有明显的随温度改变的岛状生长特