PECVD SiNx 薄膜应力的研究.pdf

上传：qq_31102354 浏览： 17 推荐： 0 文件：PDF 大小：306KB 上传时间：2020-07-19 04:34:33 版权申诉

等离子增强化学气相淀积(P lasma2enhanced Chem ical V aper Depo sit ion, PECVD )SiN x 薄膜在微电子和微机械领域的应用越来越