ZAO薄膜的制备
ZAO薄膜的制备采用溶胶–凝胶法制备Al–Sc 共掺杂ZnO 透明导电薄膜,考察了结晶性、晶界状态、紫外–可见光透射光谱及Hall 效应,并讨论其掺杂机制
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