晶圆制备介绍

高密度和大尺寸芯片的发展需要大直径的晶圆。在上世纪60年代开始使用的是1²直径的晶圆,而现在业界根据90年代的工艺要求生产200毫米直径的晶圆。300 毫米直径的晶圆也已经投入生产线了,而根据SIA的技术路线图,到2007年,300毫米将成为标准尺寸。以后预期会是400毫米或450毫米直径的晶圆。大直径的晶圆是由不断降低芯片成本的要求驱动的。然而,这对晶圆制备的挑战是巨大的。大直径意味着高重量,这就需要更多坚固的工艺设备。在晶体生长中,晶体结构上和电学性能一致性及污染的问题是一个挑战,这些挑战和几乎每一个参数更紧的工艺规格要求共存。与挑战并进和提供更大直径晶圆是芯片制造不断进步的关键