晶圆清洗

上传：pistol75934 浏览： 20 推荐： 0 文件：DOCX 大小：17.81KB 上传时间：2020-12-28 12:10:50 版权申诉

摘要:介绍了半导体IC制程中存在的各种污染物类型及其对IC制程的影响和各种污染物的去除方法,并对湿法和干法清洗的特点及去除效果进行了分析比较。

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