晶圆外延

上传：gaobailing 浏览： 13 推荐： 0 文件：PDF 大小：17.28KB 上传时间：2020-12-31 15:35:03 版权申诉

尽管起始晶圆的质量很高,但对于形成互补金属氧化物半导体(CMOS)器件而言还是不够的,这些器件需要一层外延层。许多大晶圆供应商有能力在供货前对晶圆外延。此器件技术在16章中讨论。