晶圆评估

上传：zsliqiang 浏览： 19 推荐： 0 文件：PDF 大小：18.69KB 上传时间：2021-01-16 20:22:42 版权申诉

在包装以前,需要根据用户指定的一些参数对晶圆(或样品)进行检查。图3.24列举了一个典型的规格要求。主要的考虑是表面问题如颗粒,污染和雾。这些问题能够用强光或自动检查设备来检测出。