晶圆包装

虽然花费了许多努力生产高质量和洁净的晶圆,但从包装方法本身来说,在运输到客户的过程中,这些品质会丧失或变差。所以,对洁净的和保护性的包装有非常严格的要求。包装材料是无静电、不产生颗粒的材料,并且设备和操作工要接地,放掉吸引小颗粒的静电。晶圆包装要在洁净室里进行。